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對接光刻機芯制程,中國電科破冰28nm離子注入機,擊碎美芯封鎖鏈

2021-05-04 16:51:57

對于芯片代工廠商來說:光刻機是不可或缺的,如果沒有光刻機對芯片進行曝光印章,刻蝕機將無法對芯片進行雕刻,芯片也將無法生產。除了光刻機外,離子注入機也很重要。在芯片進行曝光生產之前,如果沒有離子注入機對硅片進行摻雜,芯片的電路集成規格、晶體管集成度將會大幅降低。

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處理器芯片是支撐手機、PC端設備進行數據處理、信息傳輸的重要器件。在芯片制程中,代工廠商對處理器芯片的各個環節的要求十分嚴格,稍加疏忽,便可能影響到芯片的良品率。

決定芯片良品率高低的因素有很多,最重要的當屬離子注入環節。而在離子注入環節中擔任“總指揮”的是離子注入機。和我們在芯片代工領域中被光刻機“卡脖子”的處境一樣。我們在離子注入機方面,也存在著被國外的離子注入機“卡脖子”的問題。

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先給大家科普一下什么是離子注入機。離子注入機在芯片制造過程中主要負責對芯片進行電離子改造,按照預訂方式改變材料的電性能。在光刻機對芯片進行曝光生產前,離子注入機對硅片進行不同元素摻雜,能夠提高芯片的集成度、良品率和壽命。簡單來說,離子注入機在芯片制程中起到了優化硅片、提高芯片性能的作用。

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一直以來,我國的半導體廠商使用的離子注入機都是來自國外。拋去成本營收不說,長期依賴國外的技術設備,顯然不利于我國半導體行業的發展。更何況現如今是在美國高強度打壓我國半導體發展的背景下。
針對此類現狀,中國電科潛心專研,成功擊碎國外技術壁壘,推出了可供28納米及28納米以上制程芯片使用的離子注入機。值得一提的是:中國電科推出的28納米離子注入機,剛好可以搭配上海微電子的28納米光刻機,加速我們實現芯片完全自主化生產目標的腳步。

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令人振奮的是:有關離子注入機的核心技術和相關設備生產方面,中國電科實現了28納米及28納米以上制程的全譜系國產化。也就是說,在有關28納米、28納米以上制程的離子注入機的相關零部件生產上,我們不用擔心會被國外“卡脖子”。
雖說與國外的離子注入機相比,我們在該方面還處在比較落后的位置。但總的來說:中國電科擊碎國外壟斷推出的28納米離子注入機,對于我們發展半導體行業起著重要作用。有了它,我們可以大幅度提高28納米及28納米以上制程芯片的良品率,提高我們在芯片代工領域中的競爭力。

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況且除了手機、電腦等高端智能設備,目前大部分的半導體儀器對于芯片制程的要求還停留在28納米以上,例如當下缺芯最嚴重的智能汽車領域。順時代者,昌也。在汽車行業嚴重缺芯的大背景下,中國電科推出的28納米離子注入機,不僅可以彌補我們在芯片代工設備上的不足,也會為我國代工行業的營收增長,增添一份力量。

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我國對半導體行業代工領域的重視,促使很多代工廠商加快研發。目前我們在芯片代工領域中已經取得了許多突破。在有關芯片代工設備的前沿技術上,中科院實現了5納米激光雕刻技術的應用,推出了5納米掩膜版。中微公司推出5納米制程的刻蝕機,在實際應用中獲得了三星、臺積電的訂單。清華、哈工大團隊破冰EUV光源壁壘,推出了與ASML公司同等水平的EUV光源。
有志者,事竟成。針對我們在半導體領域被核心技術“卡脖子”的現狀。我國成立了“全國集成電路委員會”,隨著越來越多“有志之士”的加入,相信過不了多久,困擾我國半導體發展的代工設備難題,將會迎刃而解。

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